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熱烈歡迎！中科院半導(dǎo)體所何力博士蒞臨嘉儀通交流用于先進(jìn)制程退火工藝

分類(lèi)：品牌故事
作者：管理員
來(lái)源：本站
發(fā)布時(shí)間：2025-09-18
訪問(wèn)量： 1298

【概要描述】2025.8.26日，中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所何力博士到訪武漢嘉儀通科技有限公司，交流用于先進(jìn)制程退火···

熱烈歡迎！中科院半導(dǎo)體所何力博士蒞臨嘉儀通交流用于先進(jìn)制程退火工藝

【概要描述】2025.8.26日，中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所何力博士到訪武漢嘉儀通科技有限公司，交流用于先進(jìn)制程退火···

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2025.8.26日，中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所何力博士到訪武漢嘉儀通科技有限公司，交流用于先進(jìn)制程退火工藝。分享了用嘉儀通RTP快速退火爐開(kāi)展半導(dǎo)體材料超固溶度摻雜研究，為先進(jìn)制程晶體管、光電子材料及器件制備等提供有效支撐。

圖片1.png

隨著半導(dǎo)體制造工藝進(jìn)入14納米及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)，傳統(tǒng)退火技術(shù)已難以滿足“毫秒級(jí)升至1200℃”的苛刻要求。激光退火（Laser Annealing）與閃光燈退火（Flash Lamp Annealing, FLA）因其快速、低溫預(yù)算、高效摻雜激活等優(yōu)勢(shì)，成為先進(jìn)制程的關(guān)鍵工藝裝備。

圖片2.png

然而，該類(lèi)設(shè)備長(zhǎng)期被國(guó)外企業(yè)壟斷，并對(duì)中國(guó)實(shí)施嚴(yán)格禁運(yùn)，成為制約我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的“卡脖子”環(huán)節(jié)。在此背景下，何力博士團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的閃光燈退火樣機(jī)成功實(shí)現(xiàn)脈沖寬度8毫秒、樣品尺寸2×2厘米的閃光退火實(shí)驗(yàn)，初步驗(yàn)證了國(guó)產(chǎn)FLA設(shè)備的可行性。

武漢嘉儀通科技有限公司作為在半導(dǎo)體工藝與檢測(cè)裝備領(lǐng)域具有深厚技術(shù)積累的創(chuàng)新企業(yè)，高度重視與中科院半導(dǎo)體所的合作機(jī)會(huì)。公司表示，將積極發(fā)揮其在設(shè)備工程化、系統(tǒng)集成、市場(chǎng)轉(zhuǎn)化等方面的優(yōu)勢(shì)，共同推動(dòng)閃光燈退火技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化落地，助力打破國(guó)外技術(shù)壟斷。

此次交流不僅是一次技術(shù)匯報(bào)，更是“產(chǎn)-學(xué)-研”協(xié)同創(chuàng)新模式的生動(dòng)實(shí)踐。雙方將繼續(xù)深化合作，加速推進(jìn)國(guó)產(chǎn)FLA裝備的研發(fā)與應(yīng)用，為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控與戰(zhàn)略安全提供堅(jiān)實(shí)支撐。

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