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09-28 2024 

一文了解！快速退火爐的常見應(yīng)用領(lǐng)域

RTP（Rapid Thermal Processing）快速退火爐在多個領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用，是現(xiàn)代半導(dǎo)體工業(yè)和其他新型材料工藝領(lǐng)域的重要設(shè)備。以下是RTP快速退火爐的主要應(yīng)用領(lǐng)域：1、半導(dǎo)體制造- 晶圓熱處理：可用于晶圓的熱處理、摻雜激活···

09-20 2024 

全面！RTP快速退火主要應(yīng)用的材料

快速退火爐RTP（Rapid Thermal Processing）在多個領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用，特別是在材料處理方面。以下是RTP快速退火一些主要的應(yīng)用材料：1.半導(dǎo)體材料- 硅(Si):廣泛用于硅晶圓的熱處理、摻雜激活、表面改性和應(yīng)力釋放。···

09-14 2024 

劃重點(diǎn)！常見半導(dǎo)體退火工藝介紹對比

退火工藝是半導(dǎo)體制造過程中的重要環(huán)節(jié)，旨在通過加熱和冷卻過程改善材料的電學(xué)性能、晶體結(jié)構(gòu)和可靠性。以下是一些主要的半導(dǎo)體退火工藝類型：各退火工藝簡介管式爐退火：將材料放在一個封閉的長管形爐膛內(nèi)。這個爐膛通常由耐高溫的材料如石英制成。管爐的周···

08-30 2024 

詳細(xì)！RTP快速退火爐應(yīng)用功能一覽

快速退火爐 ( RTP，Rapid Thermal Processing）采用紅外輻射加熱及冷壁技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)對1-12寸材料的快速升降溫，同時搭配高精度的溫度控制系統(tǒng)，可達(dá)到高溫場均勻性。嘉儀通RTP快速退火爐應(yīng)用功能：晶化退···

07-27 2024 

半導(dǎo)體材料為什么要測變溫電阻率？

電阻率是用來表示各種物質(zhì)電阻特性的物理量，溫度一定的情況下，電阻率的計(jì)算公式為：ρ=RS/L（ρ就是電阻率；L為材料的長度；S為面積）。變溫電阻測試儀測變溫電阻率是一項(xiàng)重要的實(shí)驗(yàn)手段，它對于深入理解材料的電學(xué)性質(zhì)、摻···

07-19 2024 

RTP快速退火爐在半導(dǎo)體合金化退火中的好處

快速退火爐作為一種快速熱處理設(shè)備，在半導(dǎo)體工藝中扮演著至關(guān)重要的角色，特別是在合金化退火過程中，可讓電極與半導(dǎo)體間有良好的歐姆接觸，有利于克服金屬與半導(dǎo)體界面的肖特基勢壘，減小歐姆接觸電阻，確保I-V曲線呈線性。一、合金化退火的···

06-26 2024 

半導(dǎo)體材料電學(xué)性能研究主要測試哪些參數(shù)，有什么用？

半導(dǎo)體材料是現(xiàn)代工業(yè)中不可或缺的核心元素，它們具備獨(dú)特的物理特性，能夠在一定條件下調(diào)控電子的流動，從而展現(xiàn)出介于導(dǎo)體和絕緣體之間的導(dǎo)電性能。半導(dǎo)體材料的主要測試參數(shù)有霍爾系數(shù)、載流子濃度、載流子遷移率和電阻率等?；魻栂禂?shù)是半導(dǎo)體材料在磁場中···

06-19 2024 

一鍵測量材料多種電學(xué)參數(shù)-嘉儀通霍爾效應(yīng)測試儀

霍爾效應(yīng)測試儀是一種廣泛應(yīng)用于金屬、半導(dǎo)體、電子、無機(jī)、復(fù)合等材料科學(xué)領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)設(shè)備，可以幫助研究人員和工程師們更好地理解材料的電學(xué)性質(zhì)?；魻栃?yīng)的本質(zhì)是固體材料中的載流子在外加磁場中運(yùn)動時,因?yàn)槭艿铰鍋銎澚Φ淖饔枚管壽E發(fā)生偏移,并在材料···

05-30 2024 

RTP快速退火爐在促進(jìn)InGaAsP LED表面鈍化中的應(yīng)用

III-V族InP/InGaAsP/InGaAs材料家族對于光電子器件非常重要，特別是在1.55和1.3μm波段的光學(xué)發(fā)射和吸收，這對于光學(xué)互連非常重要[1]。然而，InGaAsP/InGaAs通常相對于Si[2]和InP[3]具有較高的表···

05-23 2024 

快速熱處理RTP在β-Ga2O3 MESFET器件中的應(yīng)用

β型氧化鎵（β-Ga?O?），是一種寬帶隙半導(dǎo)體材料，其最顯著的特征是具有超寬的禁帶寬度（約4.4~4.9 eV），還具有較高的擊穿電場強(qiáng)度、較低的介電常數(shù)以及出色的熱導(dǎo)率[1]，這些特性使得它在制造高性能電子器件[2]方面具有得天獨(dú)厚的優(yōu)···

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